6英寸是多少厘米,4&6寸硅片为啥子要留平边 6英寸是多少厘米的盘子

来源:https://www.123gangguan.com 发布时间:2025-03-26 02:26:00 点击数:0

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admin 更新时间很长:2024-10-29

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知识星球(星球名:芯片制造与封测社区,星球号:63559049)里成学员问:2,4,6寸硅片也会平边,它的到底 样样样效果?

硅片的平边(Flat)到底 样样样?

Flat也你可以被也称定位边。2,4,6寸硅片可能 这个圆形,可能 被切掉了三个缺角。用CZ法拉出硅锭后,还未被切割成一片片硅片前,也会晶向被明确的的,也会用金刚锯在晶锭上切割出三个或多个平边。可能硅片有1-2个定位边,长的定位边在晶圆底部,短的定位边最佳位置不固定,跟随晶向与掺杂类型其发生巨巨大变化。

定位边最佳位置与晶向的特殊关系?

硅片的晶向一般说来为三种:<111><110><100>。当主定位边与次定位边夹角为45°时,硅片类型为n型<111>;当主定位边与次定位边夹角为90°时,硅片类型为p型<100>;当主定位边与次定位边夹角为180°时,硅片类型为n型<100>。可能<110>晶向,可能 主流的硅片晶向,可能可能 三个一般标准来他称,你可以按照硅片供应商你的 的一般标准来他称<110>晶向。

主定位边与次定位边的长度是固定的吗?

是的,你的 要匹配半导体制造设备,可能主,主次定位边的长度和最佳位置也会固定的。

一般说来2inch的主定位边长度为15.8mm,4inch硅片主定位边长度为32.5mm,6inch硅片主定位边为57.5mm。4英寸硅片次定位平边的长度约为18 mm,6英寸硅片次定位平边的长度约为22 mm。

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